日本進(jìn)口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機(jī)OTS-15
簡(jiǎn)要描述：
日本進(jìn)口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機(jī)OTS-15OTD-25OTD-35類(lèi)型表達(dá)式OTS-15OTS-15（獨(dú)立）OTD-25OTD-25（桌面類(lèi)型）OTD-35OTD-35（桌面類(lèi)型）步進(jìn)數(shù)I. 舞臺(tái)（盒式×1）II 階段（盒式× 1， 船× 1）III 階段（盒式× 2， 船× 1）驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)（伺服）轉(zhuǎn)移格式1ca 異種盒間移載1ca t
產(chǎn)品型號(hào)：OTD-25
產(chǎn)品時(shí)間：2024-05-22
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OTD-25
OTD-35
特點(diǎn)
粒子生成預(yù)防
電機(jī)驅(qū)動(dòng)可防止顆粒生成。
*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)
我們*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)可抑制晶圓輸送過(guò)程中的晃動(dòng)，確保轉(zhuǎn)移到石英船，并準(zhǔn)確、安全地運(yùn)輸重物，如化合物晶圓
特點(diǎn)
粒子生成預(yù)防
電機(jī)驅(qū)動(dòng)可防止顆粒生成。
*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)
我們*的晶圓夾頭結(jié)構(gòu)可抑制晶圓輸送過(guò)程中的晃動(dòng)，確保轉(zhuǎn)移到石英船，并準(zhǔn)確、安全地運(yùn)輸重物，如化合物晶圓
| 類(lèi)型表達(dá)式 | OTS-15  （獨(dú)立） | OTD-25  （桌面類(lèi)型） | OTD-35  （桌面類(lèi)型） |
|---|---|---|---|
| 步進(jìn)數(shù) | I. 舞臺(tái) （盒式×1） | II 階段 （盒式× 1， 船× 1） | III 階段 （盒式× 2， 船× 1） |
| 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) | 電機(jī)驅(qū)動(dòng)（伺服） | ||
| 轉(zhuǎn)移格式 | 1ca 異種盒間移載 | 1ca to 1bt 雙向移載 | 2ca to 1bt 雙向移載 |
| 轉(zhuǎn)移 斯皮德 | Min40秒 + 盒式交換時(shí)間 | Min50 秒（可調(diào)節(jié)） | Min90 秒（可調(diào)節(jié)） |
| 設(shè)備尺寸 | W400×D510×H1187(㎜) | W433×D490×H625(㎜) | W629×D490×H625(㎜) |
| 安全機(jī)制 | 盒有無(wú)、晶片有無(wú)、過(guò)載檢測(cè)、異常警報(bào)、緊急停止 | ||
| 電源 | AC200V（50/60Hz） | ||
日本進(jìn)口OKKSG大宮工業(yè)晶圓移載機(jī)OTS-15
半導(dǎo)體和零件制造設(shè)備
旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)它是一種通過(guò)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力和吸入氣流的作用來(lái)
干燥晶圓上的水滴和水分的裝置。
晶圓移載機(jī)將晶圓從載體或載體雙向傳輸?shù)?br _istranslated="1" style="box-sizing: border-box;"/>船的設(shè)備。
托架清洗機(jī)晶圓載體和載體盒的
清潔和干燥設(shè)備。
晶圓安裝器具有層壓機(jī)和安裝器兩種
功能的膠帶貼片裝置。
BG 膠帶層壓機(jī)用于粘貼用于表面保護(hù)的背磨
膠帶的自動(dòng)設(shè)備。
磁帶刪除器使用剝離膠帶剝離保護(hù)膜（如晶圓或貼在基板上的 BG 膠帶）的設(shè)備。
紫外線照射機(jī)UV 固化膠帶/薄膜的紫外線照射和
固化設(shè)備。
晶圓擴(kuò)展器它是一種晶圓擴(kuò)展裝置，只需輕輕一觸，即可嵌入夾持環(huán)并
切割膠帶。